Cubo Ver.3

자석으로 결합하는 광학 큐브와 분광기로 구성된 실시간 분광타원계입니다. 정렬 과정 없이 조립하고 바로 측정합니다.

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드래그하면 회전합니다.

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구성

Collimation: 백색광원에서 나온 빛을 평행광으로 만들어 시료로 보냅니다.
MPI: 0°와 90° 편광자가 들어간 일체형 편광 간섭계입니다. 위상 추출에 필요한 캐리어 주파수를 만들고, 하나의 몸체로 고정해 그 주파수를 안정적으로 유지합니다.
Analyzer: 시료에서 반사된 빛의 편광 간섭 신호를 분광기로 전달합니다.
자석 체결: 로드 대신 자석과 정렬 볼로 결합합니다. 분해와 재조립을 반복해도 광학 정렬이 유지됩니다.

아래 값은 모두 실측으로 검증된 사양입니다. 개발 중인 항목은 기술 페이지의 로드맵에 별도로 정리했습니다.

측정 파라미터	Δ (위상차), Ψ (진폭비)
측정 속도	> 20 Hz구동부가 없어 연속 측정이 가능합니다
Δ 정밀도	< 0.1°
두께 반복도	STD 0.4 nm1472 nm SiO₂ 기준, 20분 연속 측정
파장 범위	493.8 – 679.6 nm
입사각	45° 고정
검증 물질	SiO₂ / SiSi₃N₄, Al₂O₃, PR 라이브러리는 출시 시 추가 예정

센서 유닛	141 × 50 × 105 mm
스테이지 포함	250 × 150 × 116 mm
시료	4인치 웨이퍼
구동부	없음
체결 방식	자석 + 정렬 볼
광학 구조	Monolithic Polarizing Interferometer (MPI)

Python 기반 GUI로 분광기 연결부터 두께 산출까지 하나의 화면에서 수행합니다.

01분광기 연결 및 신호 확인

02Raw 스펙트럼 확인 후 측정 구간 지정

03FFT 그래프에서 AC 항 윈도잉

04레퍼런스 웨이퍼 측정 및 저장

05시료 측정 — Δ 실시간 표시

06두께·입사각 피팅 후 데이터 추출

GUI 실측 화면. 1500 nm SiO₂ 시료.

실험 데이터 추출 과정.