활용
Cubo의 쓰임은 기존 분광타원계가 잘하는 일을 더 잘하는 데 있지 않습니다. 측정에 수 초가 걸리고 장비가 벤치탑 크기라는 제약 때문에 시도할 수 없었던 일에 있습니다.
실시간
공정 중 실시간 모니터링
증착이나 식각이 진행되는 동안 박막 두께가 어떻게 변하는지 초당 20회 이상 기록할 수 있습니다. 공정 종료 후 측정하는 방식으로는 얻을 수 없는 시간 축 데이터를 확보합니다.
휴대
이동형 계측
장비가 있는 곳으로 시료를 가져가는 대신, 시료가 있는 곳으로 장비를 가져갑니다. 반출이 어려운 시료나 현장 검사에 활용할 수 있습니다.
접근성
연구실 상시 계측
공용 장비 예약을 기다리지 않고 필요할 때 바로 측정합니다. 박막을 자주 만드는 연구실이라면 측정 빈도 자체가 달라집니다.
확장
다지점 구성
장비 한 대 가격으로 여러 대를 배치할 수 있습니다. 여러 지점을 동시에 모니터링하는 구성이 가능합니다.
측정 가능 시료
현재 SiO₂ / Si 구조에 대해 검증되어 있습니다. 두께 범위는 수백 nm에서 수 µm까지 확인했습니다. Si₃N₄, Al₂O₃, PR 라이브러리는 출시 시 제공을 목표로 개발 중입니다.